媒體新聞

【記者李正宗台北報導】為配合教育部追求卓越計劃,國立中央大學光電中心訂12月4日上午10時12時舉行微光電實驗室啟用典禮。

中央大學光電中心教授詹益仁表示,中央大學光電中心在教育部追求卓越計劃的經費補助下,以四年新台幣1.2億元的經費,建立微光電實驗室,此實驗室的重點在於開發先進的半導體製程技術,以應用在微電子高速元件、光電元件及電路、微光學元件及前瞻的量子奈米元件。

參與此計畫的老師結合該校電機、光電、物理、機械、化工等系所教授10餘位及50餘位研究生。此計畫已進行一年半,無塵室與各項先進的製程設備均已陸續完成安裝、測試及運轉。

今後微光電實驗室努力的方向分為兩個主軸,其一為應用型的研究,利用所開發的製程技術,製作領先業界一至兩世代的產品,如微波積體電路、光電積體電路、微光學系統,著重於與產業界合作開發並申請經濟部學界科專的支持。

其二為先瞻性的研究,利用先進的製程技術,開發五至十年後有潛力的微電子及光電元件統,包括單電子電晶體、分子電晶體、微光機電系統、奈米元件等。

中央大學目前已有的設備包括電子束微影系統、各式真空蒸鍍系統、電感式電漿深蝕刻系統及低壓化學相沉積系統等,並已成功地開發出相關的技術,將規劃在適當的時間內對學界及業界報告研究成果。

原文轉載自【2001-12-03/經濟日報】
Menu