媒體新聞
﹝記者呂淑靜/中壢報導﹞國立中央大學光電中心微光電實驗室昨日啟用，內有各大學校園中僅有的一套電子束微影設備，用於開發先進的半導體製程技術，應用在微電子高速元件、光電元件及電路、微光學元件及前瞻的量子奈米元件。
啟用儀式由中大校長劉兆漢、副校長鄭光甫揭幕，該實驗室是教育部「追求卓越計畫」的一環，四年內可獲一億兩千萬元補助，目前已進行一年半，內有電子束微影設備、各式真空蒸鍍系統、電感式電漿深蝕刻系統及低壓化學氣沉積系統等各項先進設備，實驗室採無塵設計，昨日啟用時眾人只能從窗口一窺設備。
劉兆漢說，校內十餘位電機、光電、物理、機械、化工等系教授及五十餘位碩博士研究生跨領域參與這項計畫。
兼任計畫主持人的中大教授詹益仁說，微光電實驗室研究主軸有二，其一為應用型，製作領先業界一至兩代的產品如微波積體電路、光電積體電路、微光學系統，目標在於與產業界合作開發。
其二為前瞻性學術研究，開發五至十年後有潛力的微電子及光電元件系統，句括單電子電晶體、分子電晶體、微光機電系統、奈米元件等。
詹益仁說，目前已成功地開發出相關的技術，預計在日後會向學界及業界報告研究成果，開啟國內高科技的新里程。
原文轉載自【2001-12-05/自由時報】
啟用儀式由中大校長劉兆漢、副校長鄭光甫揭幕，該實驗室是教育部「追求卓越計畫」的一環，四年內可獲一億兩千萬元補助，目前已進行一年半，內有電子束微影設備、各式真空蒸鍍系統、電感式電漿深蝕刻系統及低壓化學氣沉積系統等各項先進設備，實驗室採無塵設計，昨日啟用時眾人只能從窗口一窺設備。
劉兆漢說，校內十餘位電機、光電、物理、機械、化工等系教授及五十餘位碩博士研究生跨領域參與這項計畫。
兼任計畫主持人的中大教授詹益仁說，微光電實驗室研究主軸有二，其一為應用型，製作領先業界一至兩代的產品如微波積體電路、光電積體電路、微光學系統，目標在於與產業界合作開發。
其二為前瞻性學術研究，開發五至十年後有潛力的微電子及光電元件系統，句括單電子電晶體、分子電晶體、微光機電系統、奈米元件等。
詹益仁說，目前已成功地開發出相關的技術，預計在日後會向學界及業界報告研究成果，開啟國內高科技的新里程。
原文轉載自【2001-12-05/自由時報】
